SEM是扫描电镜，英文全称为Scanning Electron Microscope。以下是关于扫描电镜的一些基本信息：
1、工作原理
扫描电镜是一种利用电子束扫描样品表面，通过检测电子与样品相互作用产生的各种信号来获取样品表面微观结构信息的电子显微镜。电子枪发射出的电子束，经过电磁透镜聚焦和加速后，形成一束高能量的细电子束，扫描线圈控制电子束在样品表面进行逐行扫描。电子束与样品表面的原子相互作用，会产生二次电子、背散射电子等信号，这些信号被探测器收集并转换为电信号，再经过放大和处理后，在显示屏上显示出样品表面的图像。
2、特点
- 高分辨率：能够达到较高的分辨率，一般可以达到纳米级别，甚至在一些先进的设备中可以达到亚纳米级别，能够清晰地观察到样品表面的细微结构和形貌特征。
- 大景深：与光学显微镜相比，扫描电镜具有很大的景深，这意味着它可以对表面起伏较大的样品进行清晰成像，能够呈现出样品表面的三维立体结构，使观察者可以直观地了解样品的表面形态。
- 样品制备相对简单：对于大多数样品，只需要进行简单的处理，如干燥、镀膜等，就可以进行观察。不像透射电镜那样需要对样品进行超薄切片等复杂的制备过程，这使得扫描电镜能够更方便地对各种类型的样品进行分析。
- 可进行多种分析：除了观察样品的形貌外，扫描电镜还可以与其他分析仪器相结合，如能谱仪（EDS）、波谱仪（WDS）等，实现对样品的成分分析；还可以通过电子背散射衍射（EBSD）技术进行晶体结构和取向分析等。
3、应用领域
- 材料科学：用于研究材料的表面形貌、组织结构、断口分析等，帮助了解材料的性能与结构之间的关系，为材料的研发、制备和性能优化提供依据。例如在金属材料中，观察金属的晶粒大小、相分布、缺陷等；在半导体材料中，观察芯片表面的电路结构、光刻图案等。
- 生物学：可以观察生物样品的表面形态和微观结构，如细胞、组织、微生物等的表面特征，有助于生物学研究中的形态学观察、细胞生物学研究、病理学诊断等。比如观察细胞的表面微绒毛、细菌的形态和细胞壁结构等。
- 地质学：用于研究岩石、矿物的表面特征、颗粒形态、孔隙结构等，对地质学中的岩石分类、成岩作用、矿物鉴定等方面具有重要意义。例如观察岩石中的矿物颗粒分布、孔隙大小和连通性等，为石油勘探、地质灾害研究等提供信息。
- 工业检测：在电子制造、机械加工、汽车制造等工业领域，用于产品的质量检测、失效分析等。如检查电子元件的焊接质量、电路板的表面缺陷、金属零件的磨损和腐蚀情况等。