芯片制造技术之:功率器件与射频功率放大器

发布于:2023-10-25 ⋅ 阅读:(141) ⋅ 点赞:(0)

作者:禅与计算机程序设计艺术

1.背景介绍

:电源领域的龙头效应一直是电子设备领域的热点。一直以来,芯片制造领域都充斥着功率器件和射频功率放大器的研究。他们的制造成本越来越低、集成程度越来越高、使用灵活度越来越强、寿命周期越来越长,这些都是功率器件和射频功率放大器制造的必备条件。本文将从功率器件与射频功率放大器的基本概念出发,通过较为详实地介绍其制造过程、组成结构、性能特性、功率效益、广泛的应用和特色等方面,为读者提供一个全面的视角。

2.核心概念与联系:功率器件与射频功率放大器(Power Supply Units and RF Power Amplifiers)是指能够提升或降低输入电压电流到输出电压电流的能力。在电源领域里,它们可分为以下两种类型:功率源和转换器件。前者指的是能够直接提供功率而不需要额外的电源介质,如太阳能电池、太阳能电池组、太阳能电池堆、热电池;后者指的是可以把输入信号转换成输出信号的转换器件,通常包括开关电路、整流器、增益电路等组件。射频功率放大器是一种高性能、高灵敏度、广泛使用的功率器件,它主要用于实现高频,超高频的输出信号,如无线收音机、卫星导航卫星等需要高速收发信号的应用场景。在本文中,我们只讨论射频功率放大器的相关知识。

2.1 常用功率器件简介

在了解功率器件的基本概念之后,我们再来看一些常用的功率器件:

⒈ DC-DC转换器:DC-DC Converter,是一种高效率、高性价比的直流电源的变换器,能够实现低损耗的直流供电。DC-DC Converter 可以转换较高频率的电流信号,也可转化低频电流信号。因此,它的应用场景广泛且多样。

⒉ AC-DC变压器:AC-DC Converter 是一种用来把AC电源转换为DC直流电源,同时也能够转换小于零度C的低功率信号。其中,负极是待转换的AC信号,正极则是直流电压输出。它的工作原理是通过电阻,使得输入的 AC 信号的基准电压降低至接地,然后由一个交流电容把 DC 信号注入到输出端。

⒊ 直流电池:当配合电磁场中的感应电容来充电时,直流电池被称为纯粹的直流电池,能够提供相当大的储存电量。而对于那些采用扁平结构的电池,在外部环境下的工作会受到不利影响。因此,一般使用超导材料的电池进行充电,以减轻对外部环境的干扰。

⒋ 锂离子聚合物电池:锂离子聚合物电池通常使用镍钴锌合金材料和液态锂电池组成。当电池的工作温度达到约37°C时,会形成锂电池互补。锂电池互补是指两个不同方向的同种化学元素聚合在一起产生的双极极化电池,能够存储电量。

⒌ 晶体管电源:晶体管电源又称为低压晶体管电源、硅酸盐硅电池,是一种利用硅棒带来低压的低压直流电源。其特点是在室内空调、照明系统、工业自动化领域等嵌入式电源应用的重要角色。

2.2 射频功率放大器简介 射频功率放大器(RF power amplifier)是一种根据特定标准对输入电压信号进行放大、调制的电源器件。其特点有:

(1)高性能:射频功率放大器具有良好的动态范围、噪声抑制能力、精度高、高灵敏度。

(2)广泛应用:射频功率放大器在无线通信领域、视频监控领域、数字摄像头、导航、医疗诊断等领域都得到广泛应用。

(3)自主可控:射频功率放大器可以在用户设定的输出功率级别上调节输出功率,并且具备自学习功能,能够调整放大倍率、输出波形等参数,使其在满足一定要求的情况下对输入信号进行更有效的放大。

2.3 射频功率放大器工作原理 射频功率放大器的工作原理大致如下:

(1)输入连接到三极管、ZIF等保护层中。

(2)三极管、ZIF等保护层传递有用信号,直流潮流产生于保护层。

(3)通过电阻、电容等电路器件,转化输入电压信号,得到更高频率、超高频的输出信号。

(4)输出信号输送回输入端。

2.4 射频功率放大器分类及优缺点 按照射频功率放大器的性能、分辨率、结构、使用难度、性能表现力、价格等方面进行分类,可分为如下几类:

⒈ 次级放大器:最基础的射频功率放大器,通常性能表现力较差,只能应用于一些特定的应用领域。

⒉ 中级放大器:由于其价格便宜、性能稳定,大多用于各类应用系统,是常规应用的射频功率放大器。

⒊ 高级放大器:应用广泛,性能高,包括新一代数字TV、PC、手机的信号放大器等。

⒋ 业余电台放大器:业余电台放大器(Radio Amateur Power Amplifier, RAPA),是指只用作短期、临时用途的低功率、低频率的射频功率放大器。目前已成为家庭中低档收音机、微型洗衣机、无人机等的有力工具。

2.5 射频功率放大器组成结构 射频功率放大器通常包括三大类元器件:

(1)增益电路:包括电阻、电感、电容等电路,起到增益放大作用。

(2)变频环:通常是一个三极管电路,把增益电路的输出信号变成射频信号。

(3)IF匹配网络:是将变频环的输出信号滤波、分解,并连接到控制电路的网络。

2.6 射频功率放大器性能指标 射频功率放大器的性能指标有很多,如:

(1)输入输出电压:指放大器的输入电压范围和输出电压范围。

(2)输入输出频率:指放大器的输入输出信号的最大最小频率。

(3)增益指标:指放大器的增益,即信号的放大倍数。

(4)频率响应曲线:表示信号变化随频率变化的曲线。

(5)动态范围:指射频功率放大器的输出信号的灵敏度。

(6)通带效率:指射频功率放大器在相同输出电压下,接收到的信号能耗和与信号强度之间的关系曲线。

(7)静态功耗:指放大器的固定耗电量。

(8)效率:指射频功率放大器的处理能力,包括每秒处理多少个脉冲。

(9)噪声抑制:指射频功率放大器对输入信号的噪声抑制能力。

(10)匹配成熟度:指射频功率放大器的IF匹配网络的成熟度。

3.核心算法原理和具体操作步骤以及数学模型公式详细讲解:

本文将重点分析射频功率放大器的制造方法及其各部件的制造过程,所需知识、技能及工具。具体来说,我们将详细介绍三个方面:

⒈ 单晶硅生物塑料电路IC(Integrated Circuit)的制造 ⒉ CMOS晶体管与半导体电路的结合制造 ⒊ 多功能硅电容器的制造与测试

本文还将会通过项目案例来演示如何通过嵌入式系统设计及制作使用各种元器件组成完整的射频功率放大器。

3.1 单晶硅生物塑料电路IC(Integrated Circuit)的制造

3.1.1 硅基材料及单晶硅材料的选取

为了构建出有用信号的射频功率放大器,必须首先把输入信号转换成更高频率、超高频的信号。但是要做到这一点,就需要先制造出能够提升输入信号的放大功率的元器件。元器件的核心是电阻、电感或电容。因此,首先选择能够有效产生电压增益的元器件。然而,由于元器件的工作频率范围有限,往往不能满足需求。因此,一般需要对元器件进行组合,通过耦合器的方式,增加电路的输出电压。

因此,为了提高元器件的效率和性能,选择了硅基材料及单晶硅材料作为元器件。选择硅基材料及单晶硅材料,原因如下:

  1. 兼顾成本与性能:硅基材料的制造成本相对较低,而且其容积小,易制造,适合制造硅基元件;单晶硅材料的分散性好,易实现长期产品的生命周期管理,又可以快速的成型,具有较强的硬化能力。因此,综合考虑成本与性能,决定采用硅基材料及单晶硅材料。

  2. 提高功耗:硅基材料制造的电源较少,但其对电子元件的反应速度快,可以支持较高的频率。硅基材料具有较高的电动势,其丝膜有助于降低元器件的材料损耗,提高其自身的抗电击能力。

  3. 高效率:单晶硅材料的结构简单,制造工艺简单,导电性好,功耗低。单晶硅材料可提供高灵敏度、高性能、低功耗的集成电路。

  4. 空间密度高:单晶硅材料由于结构紧凑,占据整个元器件的空间。其制造的集成电路可以应用于各个地方。

3.1.2 IC封装及器件焊接

IC封装是将各种元器件组装成电路板的一个重要步骤。一般来说,IC封装采用绝缘铠甲封装法,这种方式的优点是易实现,而且制造容易,缺点是造价较高。IC封装的另一种选择是塑胶壳装法,这种方式的优点是稳固性高,制造价格低,缺点是比较复杂。

器件焊接是将焊盘上元器件的焊点集中焊接起来。一般将IC上的晶体管,IC间连接器件,IC和外围连接器件分别焊接上不同的焊盘,能够保证系统的绝缘性,减少电气噪声,提高系统的稳定性。

3.1.3 电路测试及优化

集成电路测试是检测IC是否按设计运行的一项重要工作。IC测试应该按照测试方案来执行,包括功能测试、压力测试、漏移测试、稳定性测试和电气测试。一般来说,IC测试应在电压、频率、时序以及其他测试中达到高度的一致性,确保系统性能正常。

3.1.4 IC电源电路设计

IC电源电路是集成电路中非常重要的部分,其作用是给IC供电。IC电源电路的设计应该根据所需要的功率大小、电流及其它要求制订相应的电路。IC电源电路的设计人员应该具有良好的电力相关知识,能够熟练的运用电力电子知识。

3.1.5 电路板封测

封测(测试)是对IC电路板的测试,检查其是否完好无损、安全无漏。封测应包括两步:电路板解下、外围元件清理。解下是将IC电路板从集成电路外壳剥离出来,检查元器件是否还留在外壳上。外围元件清理是检查IC电路板上是否有残余的外围元件,并将其拆除。

3.2 CMOS晶体管与半导体电路的结合制造

CMOS晶体管是一种用于微电子系统的硅基二极管,具有高灵敏度、高电压响应、小尺寸、缺陷耐受性、集成度高等特点。CMOS晶体管制造的关键是掌握硅基材料和半导体材料的结合、功能验证及半导体器件的制造。

3.2.1 硅基材料的研制

硅基材料是掌握硅基结构的材料,它对电子学、光学、粒子物理及其它科学均有非常重要的贡献。目前国内外已经开发出了许多成熟的硅基材料,如硅橡胶、硅板材、硅纳米管、硅玻璃等。因此,我们将以硅橡胶材料为例,来研究硅基材料的研制。

3.2.2 单晶硅材料的制造

单晶硅材料的制造分为以下几个步骤:

  1. 加工前准备:用熔融的方法将硅橡胶添加到硅橡胶生产工艺的模板上,用冷却液慢慢固化其金属性,使其变得坚硬。

  2. 多次加热:将浓缩的硅橡胶在烤箱烘烤到金属性的水分稀释掉,用时长达15~20分钟,注意保持与其他液体的隔离。

  3. 预处理:在加热之前,需将硅橡胶进行预处理,主要包括分割、切割、冲洗等过程,目的是去除外层的金属杂质。

  4. 纳米冲洗:将浓缩的硅橡胶加入稀释后的水,缓慢冲洗,使其完全变软化,确保具有较好的阻止膨胀性能。

  5. 浓缩:将硅橡胶经过冲洗、预处理和纳米冲洗后的物质进行浓缩,使其表面表皮薄、无粘连及无小孔洞,达到晶体管制造的工艺要求。

  6. 拼接:将不同尺寸的硅片在焊盘上焊接,以制成单晶硅。

3.2.3 CMOS晶体管的制造

CMOS晶体管由硅基元件构成,并配有轻微的半导体元件,使得它具有良好的功耗、抗干扰能力及短平衡时间。CMOS晶体管的制造步骤如下:

  1. 晶体管的表面熔化:将光刻胶粘贴到硅基底层上,使用光刻机将其熔化成晶体管,保持其平整且无渗漏,避免结露。

  2. 元件封装:将晶体管表面布满层状嵌入的硅基,然后套上陶瓷包覆,使晶体管的元件嵌入到其表面。

  3. 引脚连接:在包裹晶体管的陶瓷上,按照晶体管的连接图,嵌入导电层,用导电材料连接器件,用铜丝串联。

  4. 镀锌:将导电材料镀上铜,使其具有耐磨性,同时防止因镀锌而发生起动。

  5. 制造锗:制造锗是为了锡培导电材料,使其具有耐蚀性,保护导电层及电路。

  6. 烧制:烧制是为了使导电层的金属温度达到峰值,使导电材料熔点保持在峰值附近,使导电层的强度达到预期效果。

  7. 封装:将导电层与晶体管封好,即可完成CMOS晶体管制造。

3.2.4 半导体材料的研制

半导体材料是掌握半导体结构的材料,它是电子器件、集成电路及集成电路上所有元件的基础。常用的半导体材料有硅原纳米管、镍钴锌合金、铝银等。为了制作高效、可靠的集成电路,研究人员需要对不同类型的半导体材料有比较深入的认识。

3.2.5 半导体器件的制造

制造半导体器件包括以下几个步骤:

  1. 技术准备:对制造过程中可能遇到的困难及技术限制,需要充分准备。如需投资较大的项目,应咨询专业的设备工程师,以确保能够实现预期目标。

  2. 硅原纳米管/MOSFET的制造:可将硅原纳米管/MOSFET作为集成电路的组成部分,或者单独进行。这里,我将以可编程逻辑电路(PLC)MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)为例,介绍其制造过程。

  3. MOSFET材料的选择:MOSFET的材料选择,一般要考虑其结合半导体材料的性质、结合性能、产能及成本三个方面。MOSFET制造厂商通常都会向客户提供一系列M/M-08/M-12/M-18集成电路结构选项,当然也可以自己设计符合要求的结构。

  4. PLD的设计及制作:为了保证MOSFET具有可编程逻辑功能,通常需要加入PLD电路。PLD是半导体器件上用于配置逻辑门阵列的器件。PLD的制作一般包含模拟退火、自动生成代码及下载至FPGA芯片上的多个步骤。

  5. 封装、测试及封装: 将刚才制作的MOSFET安装在工艺上并进行封装,最后测试其可靠性、功耗及设计寿命等参数,即可完成MOSFET的制造。

3.3 多功能硅电容器的制造与测试

多功能硅电容器(Multifunctional Silicon Electronic Container, MFEC)是以硅基结构为支撑材料,并在其表面配有微型半导体设备,用来进行信息采集、处理、传输、存储等功能的电子器件。MFEC多功能性使其具有较强的操控能力、大容量、高灵敏度及可靠性。MFEC的制造需要制造电路、多功能电子元件、控制电路、涂层及电源电路等部件。

3.3.1 电路的设计

电路的设计是制造MFEC的第一步,其目的就是确定需要由电路完成的功能及其参数。在电路设计中,需要关注以下几个方面:

  1. 可靠性:电路的可靠性主要依赖于电路元件的品质和可用性。MFEC的电路设计中,应注意电路元件的品质,如电阻、电容、电感等,以及器件的尺寸大小等。另外,也应注意器件之间的耐腐蚀性,以免损坏或失效。

  2. 大小:MFEC的大小决定着其能量密度及电能密度,因此,MFEC的大小设计应尽量大,以达到足够的功率。MFEC的大小一般在20mm×20mm~100mm×100mm之间,一般制造精度达到1%左右,是电子信号处理、控制等领域的佳品。

  3. 工作频率:MFEC的工作频率决定着其工作范围及性能。对于光电子相关应用而言,MFEC的工作频率一般在100MHz以上,为满足电子相关应用的需要。

  4. 操作模式:MFEC的操作模式应满足多种应用模式,如挖掘、采集、处理、传播、存储等。

  5. 功率:MFEC的功率应符合集成电路的规范及性能要求,例如电压、电流、阻抗、阻尼及其时序等。MFEC的功率一般在100mA~5W之间,对一些特殊应用场景如医疗诊断、光电子等具有很高的性能。

3.3.2 电路元件的制造

电路元件是电路的组成部分,是电路提供功能的关键。在电路元件的制造过程中,需注意以下几点:

  1. 电阻:电阻是MFEC电路中常用的元件之一。对于普通MFEC的设计,其电阻值的分布应保持在0.1μm~1μm之间。电阻的制造原理是将硅基层下方的绝缘介质烧化掉,生成电阻的导电层。

  2. 电容:电容是MFEC电路中常用的元件之一。电容的制造原理是将硅基层的电流分流到相应的导电层,从而制造出电容的导电层。电容的大小也影响着电容的效果。一般电容的大小在1μF~100μF之间。

  3. 电感:电感是MFEC电路中常用的元件之一。电感的制造原理是将电流导回导电层的某一点,并对其抵消。电感的种类、长度及品牌都影响着电感的效果。一般电感的长度在10μm~1m之间,尺寸大小也应当合理。

  4. 总线:MFEC的总线也是电路中重要的组成部分。MFEC的总线通常是由多条导线组成,方便不同器件之间的连接。MFEC的总线的制造需要注意多种方面,如导线的长度、颜色、绝缘材料等,以及导线的使用及集成。一般MFEC的总线使用M端子、G端子、V端子及S端子。

  5. 时钟:时钟是MFEC电路中的元件之一,用于同步不同器件的时间。MFEC的时钟可以用于指导其他器件工作,也可以直接用于制作相关的同步电路。时钟的制造需要注意时钟信号的范围、频率、精度及遥控能力等。

3.3.3 多功能电子元件的设计

MFEC中的电子元件用于承载数字信号、处理数据、处理运算符、存储信息等功能。MFEC中常用的电子元件有三极管、电容、电阻、锁存器、开关电路、LED、蜂鸣器、锂电池、锂离子电池、电阻、微处理器及ADC电路。对于电子元件的设计,应注意以下几点:

  1. 器件的选择:MFEC的器件的选择要根据其功耗及尺寸的需求,选取适合的器件。例如,对于信息处理任务,采用电容较好;对于成像器件等成像功能,采用电阻较好;对于LED显示器件等,采用LED较好。

  2. 器件的连接:MFEC中的器件必须有规律的排列,才能方便地连接及扩展。MFEC的排列规则是先行后列,即靠近顶部的器件排列在上面,靠近底部的器件排列在下面。每一个器件在电路中都应有编号标签,便于识别。

  3. 操作参数的设置:MFEC的每个器件都应有设置参数的功能,如输出电压、输出电流、电容量、时间常数等。每个器件的参数设置应符合实际需求,避免损坏或性能下降。

  4. 电路测试及调试:MFEC的电路测试及调试需要根据实际需求、工作状态及器件故障,采用不同的测试方法,例如加电检验、脉冲检验、电流测量、电压测量、增益匹配及频率分析等。

3.3.4 控制器电路的制造

控制器电路的功能是根据输入的指令,控制输出电压、电流、电压、电流、触发信号等,同时控制其他器件的工作状态,提高MFEC的操控能力及响应速度。在控制器电路的制作过程中,需注意以下几点:

  1. 模块化:控制器电路的制作应模块化,以便于进行更高效、更可靠的制造。如同各种器件一样,控制器电路的制作可以根据不同的功能,设计不同的模块。模块化的控制器电路能够方便地集成到MFEC中。

  2. 接口及连接:控制器电路的接口及连接也十分重要。控制器电路的接口应与对应的器件匹配,以便于连接及测试。控制器电路的连接也需要有规律,才能方便地连接器件。

  3. 操作参数的设置:控制器电路的每个模块都应有设置参数的功能,以便于实时修改相关功能。

  4. 电路测试及调试:控制器电路的测试及调试也需要根据实际需求、工作状态及器件故障,采用不同的测试方法,例如模拟波形测试、跳变测试、遥控测试、网络测试等。

3.3.5 光栅化涂层的制造

光栅化涂层是MFEC中不可缺少的组成部分。MFEC的整体结构由不同的电子元件、导线、控制电路及光栅化涂层等构成。光栅化涂层的制作需要注意以下几点:

  1. 光栅化材料的选择:MFEC的光栅化涂层需要采用光栅化材料,其选择应该考虑光栅化材料的价格、性能及导电性。一般选择的光栅化材料有电镀聚乙烯、硅玻璃、尼龙等。

  2. 光栅化厚度的选择:光栅化涂层的厚度也是影响其性能的重要因素。MFEC的光栅化涂层的厚度一般在0.5μm~500μm之间。

  3. 光栅化的平整度:光栅化涂层的平整度决定着MFEC的表面光滑度及导电性。MFEC的光栅化涂层的平整度要高于器件的厚度。

3.3.6 电源电路的设计

电源电路是MFEC的最后一步,其作用是给MFEC提供电力,以满足其工作需求。电源电路的设计需要注意以下几点:

  1. 电源的类型:MFEC的电源种类与需求有关,比如LED显示器件等,其电源电路可以采用LED泄漏电路;而消费电子产品的电源电路可以采用单相交流电源。

  2. 功率的设计:电源的功率一般是MFEC工作时的最大功率。在电源电路的设计中,应考虑不同电源类型及功率的需求。

  3. 保险丝的设计:MFEC的电源电路应设计有保险丝,以避免漏电、保护电路及元器件。保险丝的数量及位置也应做好规划,否则可能会导致电源异常。

3.4 MFEC的应用及未来展望

多功能硅电容器(MFEC)是目前市场上可用于电子控制、显示、处理等领域的佳品。MFEC多功能性使其具有较强的操控能力、大容量、高灵敏度及可靠性。MFEC的制造需要制造电路、多功能电子元件、控制电路、涂层及电源电路等部件。通过组装这些部件,就可以制造出具有多种功能的电子器件。

MFEC的应用还处于初级阶段,其应用范围仍较窄,远远没有到达其他电子器件的水平。MFEC的未来发展主要有以下几个方面:

  1. 更多的功能:MFEC的功能正在逐步增加。未来MFEC的功能会越来越丰富,包括显示、图像处理、传感、通信、数据存储等。

  2. 更广泛的应用:MFEC的应用范围也将越来越广。未来,MFEC将成为工业界、学术界及应用领域中最主要的处理器件。

  3. 更高速率:MFEC的性能已经得到飞跃性的提升,其工作频率在不断提高。未来的MFEC将采用更快的技术来提升性能。